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隨著光電產業和微電子業的快速發展,本公司也在成立新廠後,引進高CLASS的無塵室環境設備和超高精密度的繪圖機,以更專業的技術正確地為客戶繪出TFT-LCD(薄膜電晶體液晶顯示器)、晶圓和CLASS PHOTO MASK玻璃光罩的底片。
因考量台灣高階市場尚無專業廠提供超大尺寸之底片，故再添購超大型繪圖機，可繪製47”×63”底片面積
，擬將服務面再擴展至各相關產業。 |
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底片解析度與誤差值:
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線寬/線距
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單位
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解析度6000dpi
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理論
誤差
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解析度
12000dpi
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理論
誤差
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解析度
25000dpi
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理論
誤差
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解析度
50000dpi
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理論
誤差
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3.0 ~
UP
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mil
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ν
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0.18mil
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76 ~
UP
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μm
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ν
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4.5μm
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2.0 ~
3.0
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mil
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ν
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0.12mil
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51 ~
75
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μm
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ν
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3.0μm
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0.8 ~
2.0
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mil
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ν
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0.08mil
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21 ~
50
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μm
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ν
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2.0μm
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0.2~0.8
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mil
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ν
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0.04mil
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5.0 ~
20
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μm
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ν
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1.0μm
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註：
1.線寬/線距的條件，均應同時併入考量。
2.若碰到特殊需求時，建議請將解析度往上提升一級。
3.請盡量依照設計之解析度參數製作，作為驗收標準。
4.如 貴公司有額外指定解析度參數，則依
貴公司要求製作。
5.本公司解析度50000dpi已於99年1月起提供服務。
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